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扫描电镜（SEM）的真空系统是非常重要的组成部分，其主要目的是创造一个高真空的环境，以保证电子束在样品上的扫描能够顺利进行，同时避免空气或其他气体对电子束的影响，关于扫描电镜的真空度和真空系统，以下是相关信息：
1、真空度：扫描电镜工作时需要在高真空环境下进行，真空度要达到一定的标准，通常是低于某个特定的气压值，例如10^-3至10^-6 mbar范围，具体的真空度要求可能会因不同的扫描电镜型号和应用场景而有所差异。
2、真空系统：扫描电镜的真空系统主要由真空泵、真空阀门、真空管道和真空腔体等组成，真空泵用于抽取腔体内的空气，创造高真空环境；真空阀门和管道用于控制气体的流动；而真空腔体则是安装样品和电子设备的地方。
不同的扫描电镜型号和制造商可能会有不同的真空系统设计，一些高端的扫描电镜可能会采用多级真空泵系统，以更好地控制真空度，真空系统的性能还会受到其他因素的影响，如腔体的材质、密封性能、气体泄漏等。
扫描电镜需要达到一定的真空度以保证其正常工作，具体的真空度要求和真空系统的设计可能会因不同的设备和应用场景而有所差异，如果您需要更详细的信息，建议查阅相关设备的技术手册或联系设备制造商。